代號聖母峰！中芯測首款陸製DUV光刻機　或突破美晶片限制

大陸半導體龍頭中芯國際正在測試由上海新創公司宇量昇開發的DUV光刻機，此舉被視為大陸推動半導體產業自主化的重要里程碑。《金融時報》報導指出，這項代號「珠穆朗瑪峰」（台灣稱「聖母峰」）的計畫採用與荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）系統類似的「浸沒式」技術。

據了解，上海宇量昇科技股份有限公司為深圳半導體設備製造商新凱來的子公司，位於華為半導體生態系中，主要研發半導體設備製造，尤其主攻光刻機。新凱來慣以大陸代表性山峰為其設備命名，包括用於蝕刻機的武夷系列和用於外延產品的峨眉系列。兩家公司應存在分工關係。消息人士透露，這款國產DUV光刻機的主要零組件已實現在地化生產，但仍有部分零件需仰賴進口，目前該公司正致力於完全自主化生產。

《金融時報》報導提到，中芯國際的初期測試結果令人鼓舞，但新型DUV設備通常需要至少一年的持續調校，才能達到量產所需的穩定性和良率。這款28奈米DUV光刻機透過多重圖案化技術，目標是生產7奈米等級的晶片，理論上也可製造5奈米晶片，但良率較低。

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在美國主導的出口管制下，大陸晶片製造商目前仍依賴ASML的DUV設備，這些設備多數是在出口管制前取得，或是從其他國家購入二手設備。《金融時報》指出，大陸計劃於明年將AI處理器產量增加兩倍，華為的AI晶片工廠預計在年底前開始生產，另有兩家工廠計劃於2026年完工。